掃描電鏡帶能譜如何控制電子路徑及操作方法

更新時(shí)間：2022-05-13

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掃描電鏡帶能譜結(jié)合了表面成像功能和元素分析EDS功能，EDS（能譜儀）可以準(zhǔn)確的進(jìn)行樣品表面元素的定性和定量分析。臺(tái)式電鏡能譜儀體積小巧，*嵌入在電鏡主機(jī)中，采用半導(dǎo)體制冷，無需額外冷卻系統(tǒng)。

掃描電鏡帶能譜如何控制電子路徑：

與光學(xué)顯微鏡類似，掃描電鏡也通過透鏡來控制電子路徑。但因?yàn)殡娮訜o法穿過玻璃，所以掃描電鏡必須使用電磁透鏡。它們由線圈和金屬極片構(gòu)成。當(dāng)電流通過線圈，就會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)。由于電子對(duì)磁場(chǎng)非常敏感，因此只需調(diào)節(jié)所施加的電流大小就可以控制鏡筒內(nèi)的電子路徑。

通常，電磁透鏡有聚光鏡及物鏡兩種：聚光鏡是電子向樣品移動(dòng)時(shí)遇到的第一個(gè)透鏡。該透鏡在電子束錐再次打開前使電子束會(huì)聚，并在撞擊掃描樣品之前由物鏡再次會(huì)聚。聚光鏡決定了電子束的大小(這決定了分辨率高低)，而物鏡的主要作用是將電子束聚焦到樣品上。它的透鏡系統(tǒng)還包含掃描線圈，用來對(duì)樣品表面進(jìn)行柵網(wǎng)式掃描。很多時(shí)候，會(huì)將光闌與透鏡相結(jié)合來控制電子束的大小。

掃描電鏡帶能譜的基本操作：

首先在掃描電鏡窗口下找到感興趣的樣品區(qū)域，其次在能譜軟件窗口對(duì)樣品區(qū)域進(jìn)行點(diǎn)、線或面掃描，即可獲取樣品指定區(qū)域的元素種類、分布及含量百分比。

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